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FILM黄光制程平行曝光机系统有哪些特点及参数?

发布时间:2022-07-22 08:53:48 人气:

平行曝光机系统有哪些特点及参数?相信不少人是有疑问的,今天东莞正凯机电就跟大家解答一下!

平行曝光机专门用于FILM黄光制程而设计制作的专用设备,系统采用进口平行光源、双工位抽屉进出曝光平台交替工作进行FILM湿膜、干膜曝光。双工位平台真空吸附将FILMMASK贴紧。

平行曝光机设备规格以及主要技术指标

◆产品规格:有效曝光面积400MM x 500MM

曝光平台面积> 500MM x 600MM

◆电源: AC380V 3f 50HZ 7KVA

◆机台外尺寸: W1350MM x L3250MM x H2350MM

◆曝光方式:单面曝光,玻璃VS玻璃x 2组,采用电磁锁控制

◆曝光灯管: 5KW x 1PCS(平行光曝光灯) 曝光光强> 20MW/Cm,灯管保用800H

◆光学系统:采用进口曲面MIRROR反射光学系统

◆真空系统: 400MMHG以上

◆曝光精度:线路宽30UM,线间距30UM

◆点灯计时:配置时间计时器,可清零

◆平台平面精度: 0.02MM曝光机

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